[SRT(에스알 타임스) 이승규 기자] 수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부는 삼성전자의 초미세반도체 불량률을 줄일 수 있는 핵심기술을 중국에 유출한 4명을 구속기소했다고 17일 밝혔다.
이들은 지난 2018년 중국 소재 연구소와 접촉해 삼성전자 자회사인 세메스가 세계 최초로 개발해 삼성전자에게만 납품해온 초임계 세정 정비를 만들어 줄 수 있다고 하며 약 18억원을 받았다.
초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 장비로 기판 손상을 최소화하는 기술이다. 부정경쟁방지법상 기업의 영업 비밀에 해당한다.
이들은 중국과 합작 회사를 만들어 초임계 세정 장비를 넘긴 것으로 파악됐다. 이를 통해 지금까지 800억원의 부당이득을 올린 혐의를 받고 있다.
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이승규 기자
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