▲(왼쪽부터) 경계현 삼성전자 대표, 이창양 산업통상자원부 장관, 최시영 삼성전자 파운드리 사업부 사장이 경기도 화성캠퍼스 V1라인(EUV 전용)에서 개최된 3나노 파운드리 출하식에서 기념사진을 촬영하고 있다. ⓒ삼성전자
▲(왼쪽부터) 경계현 삼성전자 대표, 이창양 산업통상자원부 장관, 최시영 삼성전자 파운드리 사업부 사장이 경기도 화성캠퍼스 V1라인(EUV 전용)에서 개최된 3나노 파운드리 출하식에서 기념사진을 촬영하고 있다. ⓒ삼성전자

[SRT(에스알 타임스) 이승규 기자] 삼성전자가 경기도 화성캠퍼스 V1라인(EUV 전용)에서 차세대 트랜지스터 GAA(Gate all Around) 기술을 적용한 3나노 파운드리 제품 출하식을 25일 개최했다.

이날 행사는 이창양 산업통상자원부 장관, 경계현 삼성전자 DS부문장 대표(사장)와 임직원 등 100여명이 참석했다. 이들은 3나노 GAA 연구개발과 양산에 참여한 임직원들을 격려했다.

삼성전자 파운드리사업부는 '혁신적인 기술력으로 세계 최고를 향해 나아가겠습니다'라는 말을 슬로건으로 3나노 GAA 공정 양산과 선제적인 파운드리 기술로 사업 경쟁력을 강화해 나가겠다는 포부를 밝혔다.

정기태 삼성전자 파운드리사업부 기술개발실장(부사장)은 기술 개발 경과보고를 통해 파운드리사업부, 반도체연구소, 글로벌 제조&인프라총괄 등 사업부를 넘어선 협업으로 기술개발 한계를 극복한 점을 강조하는 등 개발에서부터 양산에 이르기까지의 과정을 설명했다.

경계현 대표는 "삼성전자는 이번 제품 양산으로 파운드리 사업에 한 획을 그었다"며 "핀펫 트랜지스터가 기술적 한계에 다다랐을 때 새로운 대안이 될 GAA 기술의 조기 개발에 성공한 것은 무에서 유를 창조하는 혁신적인 결과"라고 말했다.

한편, 삼성전자는 GAA 트랜지스터 구조 연구를 2000년대 초부터 시작했으며, 2017년부터 3나노 공정에 본격 적용해 지난달 세계 최초로 GAA 기술이 적용된 3나노 공정 양산을 발표했다.

삼성전자는 3나노 GAA 공정을 고성능 컴퓨팅(HPC)에 처음으로 적용하고 주요 고객들과 모바일 SoC 제품 등 다양한 제품군에 확대 적용을 위해 협력하고 있다.

아울러 삼성전자는 화성캠퍼스에서 3나노 GAA 파운드리 공정 제품 양산을 시작했으며, 향후 평택캠퍼스까지 확대해 나갈 예정이다.

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