SK하이닉스, 삼성전자 이어 日서 기체불화수소 수입

- 삼성전자 이후 두 번째…액체 불화수소는 ‘국산’ 이용

[SR(에스알)타임스 김수민 기자] 일본 정부가 최근 SK하이닉스에 대해 불화수소 수출을 허가한 것으로 알려졌다. 지난 8월 삼성전자가 불화수소 수입 허가를 받은 이후 국내에선 두 번째 사례다.

2일 SK하이닉스 관계자에 따르면 “지난달 30일 일본이 반도체 공정에 사용하는 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다”며 “수입 물량에 대해서는 공개가 어렵다”고 말했다. 

앞서 일본은 지난 7월부터 한국에 대한 수출규제 조치로 반도체·디스플레이 공정에 사용되는  플루오린 폴리이미드, 포토레지스트, 고순도 불화수소 등 3개 핵심소재에 대해 수출규제 조치를 시행해오고 있다. 이후 지난 8월 말 삼성전자가 처음으로 기체 불화수소에 대해 수입허가를 받은바 있다.

다만 액체 불화수소의 경우 아직까지 국내에서 한건도 수입된 사례가 없다. 이에 SK하이닉스는 액체 불화수소의 공급처를 국내 생산업체로 변경했다. SK하이닉스 관계자는 “액체불화수소는 국내 생산업체를 통해 들여왔으며 현재 적합성 테스트를 마치고 일부 생산라인에 투입한 상황”이라고 설명했다.